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等离子清洗机气体通入的作用

发布日期:2020-04-26 00:00 来源:http://www.odpgh.com 点击:



                                                                                                   等离子清洗机气体通入的作用

在运用等离子清洗机清洗物体前首要要对清洗的物体和污物进行剖析,然后进行气体的选配。等离子清洗机中气体通入一般来说有两个意图,根据等离子的作用原理可将选配气体分为两类,一类是氢气和氧气等反响性气体,其间氢气首要运用于清洗金属外表的氧化物,发作还原反响。等离子清洗机通氧气首要运用于清洗物体外表的有机物,发作氧化反响。
另一类是等离子清洗机通氩气、氦气和氮气等非反响性气体,氮等离子处理能提高资料的硬度和耐磨性。氩气和氦气性质稳定,并且放电电压低(氩原子的电离能E为15.57 eV)易构成亚稳态的原子,一方面等离子清洗机运用其高能粒子的物理作用清洗易被氧化或还原的物件, Ar+炮击污物构成挥发性污物被真空泵抽走,避免了外表资料发作反响;另一方面运用氩气易构成亚稳态的原子,再与氧气氢气分子磕碰时发作电荷的转换和再结合,构成氧氢活性原子作用于物体外表。
等离子清洗机在清洗外表氧化物时用纯氢虽然效率高,但这儿首要考虑放电的稳定性和安全,在等离子清洗机运用时选用氩氢混合较为适宜,另外关于资料易氧化或易还原的资料等离子清洗机也能够选用颠倒氧气和氩氢气体的清洗次序来达到清洗完全的意图。
常见的等离子清洗机中气体运用的实例
等离子清洗机,等离子刻蚀,等离子处理

一、金属外表去油及清洁
金属外表常?;嵊杏椭?、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的外表。 在这种情况下的等离子处理睬产生以下作用:
氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发作化学反响
这种处理要选用氢气或许氢气与氩气的混合物。有时也选用两步处理工艺。首先先用氧气氧化外表5分钟,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也能够一起用几种气体进行处理。
二、等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在运用氟气对硅刻蚀时,下图)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,外表接连被新鲜的处理气体覆盖。不期望被刻蚀部分要运用资料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖资料)。
等离子办法也用于刻蚀塑料外表,通过氧气能够灰化填充混合物,一起得到分布剖析情况??淌窗旆ㄔ谒芰嫌∷⒑驼澈鲜弊魑ご硎址ㄊ鞘种匾?,如POM 、PPS和PTFE。等离子处理能够大大地添加粘合润湿面积。
三、刻蚀和灰化
PTFE刻蚀
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知,运用活泼的碱性金属能够增强粘合才能,可是这种办法不容易把握,一起溶液是有毒的。运用等离子办法不仅仅?;せ肪?,还能达到更好作用。
等离子结构能够使外表较大化,一起在外表构成一个活性层,这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
PTFE混合物的刻蚀
PTFE混合物的刻蚀有必要十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。
处理气体能够是氧气、氢气和氩气。能够运用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
四、塑料、玻璃和陶瓷的外表活化和清洁
塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些资料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。一起,玻璃和陶瓷外表的轻微金属污染也能够用等离子办法清洁。等离子处理与灼烧处理比较不会损害样品。一起还能够十分均匀地处理整个外表,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也能够处理。
常用的等离子清洗机处理气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等

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