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真空等离子清洗机为什么需要用到真空泵?

发布日期:2020-06-04 00:00 来源:http://www.odpgh.com 点击:

真空等离子清洗机为什么需要用到真空泵
    真空(低压)等离子清洗机(PLASMA)是一种依托处于“等离子态”的物质的“活化效果”即等离子活化,来去除物体外表污渍的一种清洗设备。它归于电子工业清洗中的干法清洗,进程中需求真空泵制造必定的真空条件满足清洗所需,等离子清洗所需求的等离子体主要经过特定的气体分子在真空、放电等特殊场合下发作,像低压气体辉光等离子体。简略地如开头说,等离子清洗需求在真空状态下进行(一般需保持在100Pa左右),所以需求真空泵进行抽真空作业。
其主要进程包含:首先将需求清洗的工件送入真空室固定,发动真空泵等设备开端抽真空排气到10Pa左右的真空度;接着向真空室引进等离子清洗用的气体(根据清洗材质的不同,选用的气体也不同,如氧气、氢气、氩气、氮气等),并将压力保持在100Pa左右;在真空室内的电极与接地设备之间施加高频电压,使气体被击穿,并经过辉光放电使其发作离子化,发作等离子体;在真空室内发作的等离子体完全覆盖被清洗工件后,开端清洗作业,清洗进程会继续几十秒到几分钟。整个进程就是依托等离子体在电磁场内空间运动,并炮击被处理物体外表,大多数的物理清洗进程需求有高能量和低压力。在炮击待清洗物外表以前,使原子和离子到达较大的速度。 因为要加速等离子体,所以需求高能量,这样等离子体中的原子和离子的速度才能更高。需求低压力是为了在原子之间磕碰前增加它们之间的平均距离,这个距离指平均自由程,这个路径越长,则炮击待清洗物外表的离子的概率越高。然后到达外表处理、清洗和刻蚀的效果(清洗进程某种程度就是细微的蚀刻工艺);清洗完毕后,排出汽化的尘垢及清洗气体,一起向真空室内送入空气康复至正常大气压。
   清洗进程中,在真空泵操控真空室的真空环境时,气体的流量决定了发光色度:如果色度较重,阐明真空度低,气体流量较大;而偏白时,则是真空度过高,气体流量较??;详细需求根据所需的处理效果,来确认真空泵要完成的真空度。
   真空等离子清洗机作为一种精细干法清洗设备,适用于混合集成电路、单片集成电路管壳和陶瓷基板的清洗;应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、硅片 刻蚀后、真空电子、连接器和继电器等职业的精细清 洗,可去除金属外表的油脂、油污等有机物及氧化层。 还可应用于塑料、橡胶、金属和陶瓷等外表的活化以及生命科学实验等。

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