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等离子清洗机运用氩气作为工艺气体的主要作用

发布日期:2021-04-17 00:00 来源:http://www.odpgh.com 点击:

等离子清洗机运用氩气作为工艺气体的主要作用

等离子清洗机会用到多种工艺气体,做外表清洗和活化通?;嵊玫窖跗?、氢气、氮气和压缩空气这些工艺气体外,但依据工艺要求不同还会用到氩气。那么为什么要用到这种气体,它在等离子清洗机主要作用是什么呢?今日我们就为大家共享一下氩气在真空等离子清洗机中的运用常识,供大家参考。


 1 概述

氩气简称氩,英文名Argon,化学式为 Ar,是一种无色无臭的惰性气体,通过高压气瓶运输和存储,在工业中主要运用于金属的电弧焊接和切割?;?。

氩气是一种惰性气体,电离后发生的离子体不会与基材发生化学反应,在等离子清洗中主要被运用于基材外表的物理清洗及外表粗化,Z大的特点便是在外表清洗中不会形成精细电子器件的外表氧化。正因如此,氩等离子清洗机在半导体、微电子、晶圆制造等职业被广泛运用。2 辉光放电色彩

氩气在真空等离子清洗机中被电离所发生的等离子体呈暗红色。在相同的放电环境下,氢气和氮气所发生的等离子体色彩都是呈红色,但氩等离子体的亮度会低于氮气且高于氢气,还是比较好区别的。
3 运用介绍

① 外表清洗

在晶圆、玻璃等产品的外表Particle去除的工艺中,通常都是选用Ar等离子体对外表Particle进行炮击,以达到Particle被打散、松动(与基材外表脱离)的作用,再合作超声波清洗或离心清洗等工艺,将外表的Particle进行去除。特别是在在半导体封装工艺中,完成打线工艺后为防止导线氧化,都是选用氩等离子体或氩氢等离子体进行外表清洗。

 

② 外表粗化

等离子清洗机的外表粗化又称外表刻蚀,其意图是提高材料外表的粗糙度,以添加粘接、印刷、焊接等工艺结合力,经氩等离子清洗机处理后的外表张力会显着提高?;钚云逅⑸牡壤胱犹逡材芄惶砑油獗淼拇植诙?,但氩气电离后发生的粒子相对较重,氩离子在电场的作用下的动能会显着高于活性气体,所以其粗化作用会愈加显着,在无机物基材外表粗化工艺中运用Z为广泛。如玻璃基材外表处理、金属基材外表处理等。


③ 活性气体辅助

     在等离子清洗机的活化和清洗工艺中,工艺气体经常被混合运用,以达到更佳的作用。

     由于氩气的分子比较大,电离后发生的粒子比较后,在进行外表清洗和活化时通?;岷献骰钚云寤旌显擞?,Z常见的便是氩气和氧气的混合。氧气为高活性气体,可有用地对有机污染物或有机基材外表进行化学分化,但其粒子相对较小,断键和炮击才能有限,如加上一定比例的氩气,那么所发生的等离子体对有机污染物或有机基材外表的断键和分化才能就会更强,加速清洗和活化的功率。

氩气与氢气混合运用在打线和打键工艺中,除添加焊盘粗糙度外,还能够有用去除焊盘外表的有机污染物,同时对外表的轻微氧化进行复原,在半导体封装和SMT等职业中被广泛运用。

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